上传于:2023-12-21 09:01:41
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半导体晶圆篮中转浸水水槽,适用于半导体行业,抛光后的晶圆片需要装篮浸水转运,再通过机械手抓取至清洗机中,本设计水槽可适应4568寸晶圆蓝,每组共12蓝晶圆,水槽底部知道曝气装置,可将水槽抬升到机械手抓取要求的高度位置。Solidworks2019文件,包含参数可修改...

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