上传于:2023-12-01 10:56:51
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分子泵只在分子流区域(涡轮泵、复合泵)或接近于分子流区域(复合泵)有抽速(涡轮分子泵连续工作入口压强要求小于等于1Pa,复合分子泵连续工作入口压强要求小于等于5Pa),且要求前级排气口压强保持在10Pa以下,因此必须配置合理的前级泵,并使用与之相匹配的KYKY分子泵控制器。仪器用分子泵主要包括FF-40/25和FF-63/70两种分子泵,具有体积小、功耗低和性能稳定等特点,可广泛...

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