上传于:2023-11-16 09:00:47
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该分子泵有DN100ISO-K(LF100)和DN100CF两种法兰接口,配4-8L/s抽速的前级泵。该泵为普通轴承。分子泵只在分子流区域(涡轮泵、复合泵)或接近于分子流区域(复合泵)有抽速(涡轮分子泵连续工作入口压强要求小于等于1Pa,复合分子泵连续工作入口压强要求小于等于5Pa),且要求前级排气口压强保持在10Pa以下,因此必须配置合理的前级泵,并使用与之相匹配的KYKY...

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