SST系列倾角传感器成功通过近2年的试验,并半导体光刻设备被认可。 500nm/650nm工艺器件量产的i/g-线步进投影光刻机设备书属于精密设备,对传感器的精度要求相当高,包括重复性、稳定性、可靠性等。SST倾角传感器的成功应用,表明辉格科技在倾角传感器的技术能力达到一个新的高度。
SST传感器应用于nm级半导体光刻机 -图一
本图为上海某半导体公司空调设计图。包括: 3F干盘管配管平面图,温度室静压干盘施工图,2号建筑3F新风管平面图,竣工BA系统桥架,RAUFCU施工图,MAU2-3-1竣工参考图,MAU2-3-2竣工参考图,M5-02竣工图,3F-PARTITION图。