一种用于半导体厂房的洁净室技术领域一种用于半导体厂房的洁净室技术领域一种用于半导体厂房的洁净室技术领域一种用于半导体厂房的洁净室技术领域
一种用于半导体厂房的洁净室技术领域-图一
一种用于半导体厂房的洁净室技术领域-图二
一种用于半导体厂房的洁净室技术领域-图三
内容简介 资料介绍的是某实验洁净室空调设计图。
本图为上海某半导体公司空调设计图。包括: 3F干盘管配管平面图,温度室静压干盘施工图,2号建筑3F新风管平面图,竣工BA系统桥架,RAUFCU施工图,MAU2-3-1竣工参考图,MAU2-3-2竣工参考图,M5-02竣工图,3F-PARTITION图。