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一种用于半导体厂房的洁净室技术领域-图一
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本资料为:某地厂房洁净室抽风系统设计施工图,内容包括:平面图,内容详实,可供参考。
内容简介 业主要求洁净等级为万级,包含平面图及温湿度控制图
内容简介 资料介绍的是某实验洁净室空调设计图。
本图为上海某半导体公司空调设计图。包括: 3F干盘管配管平面图,温度室静压干盘施工图,2号建筑3F新风管平面图,竣工BA系统桥架,RAUFCU施工图,MAU2-3-1竣工参考图,MAU2-3-2竣工参考图,M5-02竣工图,3F-PARTITION图。
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