上传于:2023-10-23 09:01:39
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被搬运物 SEMI标准硅片晶圆100mm~300mm,适合基座 位置确定所需时间 定位晶圆缺口:4秒以内(不实行从新夹持动作) 位置精度 晶圆中心:±0.3mm以内 槽口定位:±0.3度以内 传感器 耐真空限定距离式反射传感器 耐真空度 1.33x10-6Pa 动力 3轴使用2相步进电机控制器外置(没有集成到本体内部) 厂务 电源:DC24V±10%8A 能够在真空环境...

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