上传于:2023-10-24 09:19:13
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机械手臂型号 MCR3160C-300-AM被搬运物 ~300mm晶圆晶圆吸附方式 真空吸附式,下托式,边缘夹持式机械结构格式 圆柱坐标 控制轴 3轴电机类型 全轴采用AC伺服电机可动范围 被搬送物体中心到达距离 旋转角度(θ轴) 升降(Z轴)567.7mm 340度 300mm搬运速度(平均) 手臂(R轴) 旋转角度(θ轴) 升降(Z轴)1000mm/sec 36...

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