上传于:2023-10-24 09:19:29
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机械手臂型号 GTCR5280-300-AM被搬运物 ~300mm晶圆晶圆吸附方式 真空吸附式机械结构格式 水平多关节 控制轴 5軸电机类型 全轴采用AC伺服电机可动范围 被搬送物体中心到达距离 旋转角度(θ轴) 升降(Z轴)953mm 335度 300mm搬运速度 手臂(R轴) 旋转角度(θ轴) 升降(Z轴)833mm/sec 250度/sec 300mm/sec...

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