上传于:2023-10-27 09:14:56
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机械手臂规格机械手臂型号 SCR3100S-200-PM腕部机构模块 SARS00169 手指 3D-02535被搬运物 ~150mm晶圆晶圆吸附方式 真空吸附式机械结构格式 圆柱坐标 控制轴 3轴电机类型 步进电机可动范围 被搬送物体中心到达距离 旋转角度(θ轴) 升降(Z轴)397.7mm 340度 200mm搬运速度(平均) 手臂(R轴) 旋转角度(θ轴...

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