上传于:2023-11-15 10:13:11
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复合式分子泵是涡轮分子泵与牵引分子泵的串联组合,集两种泵的优点于一体。泵在很宽的压力范围内((10-6~1Pa)具有较大的抽速和较高的压缩比,大大提高了泵的出口压力。...

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