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半导体生产制造业在国民经济中起着举足轻重的作用,相关企业的规模也越来越大。其供配电系统稳定、可靠的运维不仅是其安全生产的基本保证,还关系到产品质量和生产的顺利进行。而半导体行业中大部分工艺设备对电能质量比较敏感,电压暂降、谐波等电能质量问题会导致设备损坏、生产材料报废等产生较大的经济损失。
电能质量监测装置在某半导体公司的应用-图一
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