上传于:2023-11-16 08:58:22
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用于200mm晶圆的半导体生产系统中的负载锁定和处理室隔离。特点:低震动;受保护的波纹管;寿命长;气动锁定(选项);轻松更换门。阀体材料分别有:铝和不锈钢。该真空阀每种阀体材料共有4种配置:分别是A型:带电磁阀和不带电磁阀;B型:带电磁阀和不带电磁阀。本模型集含有所有以上材料和配置模型。46x236各配置模型...

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