上传于:2023-10-17 14:42:09
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半导体载片台升降传片机构主要有摆放架、升降控制、载片体机构等部件组成。合适的固定结构,对于晶圆传输过程的可靠性、稳定性和重复性有重要的作用。通过包裹的方式,减少晶圆的污染,同时对于作业的安全性也有优点。为了满足工艺要求,可以调节到合适的高度。...

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