上传于:2023-12-28 09:02:47
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光掩膜版,是光刻工艺不可缺少的部件。版上承载有设计图形,光线透过它,把设计图形透射在光刻胶上。光掩膜版的性能直接决定了光刻工艺的质量,储存盒直接保证以上性能的实现,其精密程度直接关系到电路与最终产品的质量。...

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