上传于:2025-09-18 15:02:42 来自: 电气工程 / 电力工程 / 自动控制
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电子工业集成电路半导体生产 动力 自控系统。压缩空气管道系统(压缩空气管道接自动力站)、氮气管道系统(普通氮气管道接自动力站)、真空系统(生产车间工艺真空的需求,在生产厂房二层支持区设置2台110m3/h(1用1备)无油螺杆式真空泵,配套设置缓冲罐,工艺真空管道接至厂房一二层工艺设备)。内容详实,可供参考。

电子工业集成电路半导体生产 动力 自控系统-图一

电子工业集成电路半导体生产 动力 自控系统-图一

电子工业集成电路半导体生产 动力 自控系统-图二

电子工业集成电路半导体生产 动力 自控系统-图二

电子工业集成电路半导体生产 动力 自控系统-图三

电子工业集成电路半导体生产 动力 自控系统-图三

电子工业集成电路半导体生产 动力 自控系统-图四

电子工业集成电路半导体生产 动力 自控系统-图四

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