上传于:2023-10-17 14:37:47
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一种半导体制造用清洗设备,包括清洗腔体,所述清洗腔体的两侧面对称设置有喷淋组件,所述清洗腔体外一侧设置有烘干机构,所述清洗腔体和烘干机构上方设置有悬挂系统;所述烘干机构包括烘干腔体,所述烘干腔体内对称设置有发热组件和风机组件,所述悬挂系统包括环形滑轨,所述环形滑轨上活动设置有悬挂机构;通过设置清洗腔体和烘干腔体,使设备的清洗和烘干分隔成两个区域,并通过设置的悬挂系统使多个半导体分别在清洗腔体和烘干...

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