用于半导体设备的安装位检测装置。安装位检测装置用于对半导体设备中安装在一平台上的环体进行安装位检测。该安装位检测装置用于对安装在平台上的环体进行水平度检测,从而可根据检测结果判断所述环体是否安装到位。利用本实用新型提供的安装位检测装置,通过对安装在平台上的环体进行水平度检测,以直接反映出环体的安装是否符合要求,避免了环体在安装不到位时需要重复多次的对半导体设备进行停机调试和复机的过程,有效节省了人...
本图为上海某半导体公司空调设计图。包括: 3F干盘管配管平面图,温度室静压干盘施工图,2号建筑3F新风管平面图,竣工BA系统桥架,RAUFCU施工图,MAU2-3-1竣工参考图,MAU2-3-2竣工参考图,M5-02竣工图,3F-PARTITION图。