上传于:2023-12-13 10:16:17
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半导体晶圆传输机构主要由带轮支架、单槽带轮、双槽带轮及其他滑动轴承等。带轮支架是传输机构的载体,承载了整个传动结构,保证传输机构平稳运行。双槽带轮传输晶圆,单槽带轮主要是其传递动力。...

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