LED半导体产业化项目洁净室配套工程,内含暖通,包含设备参数,对于电子洁净厂房的建设具有很大指导意义,可供相关技术设计人员和建设方参考学习,为实际工程案例...
内容简介 资料介绍的是某实验洁净室空调设计图。
本图为上海某半导体公司空调设计图。包括: 3F干盘管配管平面图,温度室静压干盘施工图,2号建筑3F新风管平面图,竣工BA系统桥架,RAUFCU施工图,MAU2-3-1竣工参考图,MAU2-3-2竣工参考图,M5-02竣工图,3F-PARTITION图。