上传于:2023-10-24 09:19:11
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机械手臂规格机械手臂型号 STCR4160SN-300-CM被搬运物 ~300mm晶圆(其他可根据特殊晶圆的形状,材质为客户提供灵活的定制设计)晶圆吸附方式 真空吸附式机械结构格式 圆柱坐标 控制轴 4軸电机类型 步进电机(采用闭环位置控制)可动范围 被搬运物体中心到达距离 旋转角度(θ轴) 升降(Z轴)575mm 340度 300mm搬运速度(平均) 手臂(R...

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